評価設備リスト のバックアップ差分(No.12)

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* 評価設備リスト [#z87a972b]
 
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 - LSIテスタ
 --- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
 -- IMS ATS-100（VLSI評価室）
 --- [[説明書(ATS-100):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ims/]]
 -- ADVANTEST T2000（東京大学VDEC）
 --- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
 --- [[説明書(T2000):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/t2000/]]
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 - 収束イオンビーム装置 (FIB)
 --- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
 -- Fei 200xP（VLSI評価室）故障中
 -- Schlumberger IDS-P2X（東京大学VDEC）
 --- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/fib/FIB.pdf]]
 --- 説明書(IDS-P2S):作成中
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 - 電子ビームプローバ (EB Prober)
 --- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキューを調べる装置
 -- ADVANTEST E1380A（VLSI評価室）故障中
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ebtest/]]
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 - 半導体パラメータアナライザ
 --- トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流が測定できる
 -- HP 4156A（VLSI評価室）
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/probe/probe1.html]]
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 - セミオートプローバ
 --- ベアチップと計測器を直流接続する装置
 -- 東京精密 A-PM-50A（VLSI評価室）
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/probe/probe1.html]]
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 - RFプローバ
 --- ベアチップと計測器を高周波接続する装置
 --Cascade Microtec RF-1（MeRL実験室）
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 - ワイヤーボンダ
 --- ベアチップをプリント基板に直接実装するときの配線装置
 -- WEST BOND 7476D（VLSI評価室）
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 - チップ写真撮影顕微鏡
 --- チップ写真撮影用の低倍率顕微鏡
 -- OLYMPUS SZX-12（VLSI評価室）
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/photo/]]
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 - ノマルスキー微分干渉顕微鏡
 --- 表面の1nm程度の微小な凹凸を強調表示する顕微鏡
 -- Nikon OPTIPHOT（MeRL実験室）
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 - プロトタイッピングツール
 --- ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFPGAボード
 -- 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-SX（MeRL実験室）
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/pmd/]]
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 - 高周波信号発生器
 --- 各種通信規格に準拠した高周波変調信号を出力する装置。高精度オプション・ベースバンド信号・RF位相制御機能付き
 -- Rohde&Schwaltz SMBV100A (MeRL実験室 2台)
 -- Agilent E4438C（MeRL実験室）
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 - ネットワークアナライザ
 --- 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装置
 -- HP 4396A + 85046A（MeRL実験室）
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 - リアルタイムスペクトラムアナライザ
 --- スペクトラムの高速時間変化を測定する装置
 -- Tectronix RSA3000B
 --- 簡易説明書は、マニュアル集/装置にあります
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 - LCRメータ
 ---1MHzまでのL,C,Rを測定する装置
 -- HP 4284A（MeRL実験室）
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 - ユニバーサルカウンタ
 --- 12.4GHzまでの主成分信号の周波数を正確に測定する装置。2チャンネル同時測定対応
 -- Agilent 53132A（MeRL実験室）
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 - 超高抵抗メータ
 --- 微小な電流と高い抵抗を測定する装置
 -- ADVANTEST R8340（MeRL実験室）
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 - ナノボルトメータ
 --- 微小な電圧を測定する装置
 -- HP 34420A（MeRL実験室）
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 - ガウスメータ
 -- LakeShore 421（MeRL実験室）
 --- 磁束密度を測定する装置
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 - オシロスコープ
 --- 電圧波形を表示する装置
 -- HP 54540C（MeRL実験室）
 --- 500MHz帯域
 -- Tektronix TDS2024（MeRL実験室 2台）
 --- 200MHz帯域
 -- Tektronix TDS2024B（MeRL実験室 5台）
 --- 200MHz帯域, USB対応
 -- Tektronix TDS2014（MeRL実験室）
 --- 100MHz帯域
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 - マルチメータ
 --- 電圧、電流、抵抗などの基本測定器
 -- Tektronix DMM4040（MeRL実験室 2台）
 --- 高精度電流測定対応
 -- HP 34401A（MeRL実験室）
 -- ADVANTEST R6581D（MeRL実験室）
 -- YOKOGAWA 7552（MeRL実験室 4台）
 -- YOKOGAWA 7562（MeRL実験室）
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 - 直流電源
 --- 直流電圧、直流電流を正確に設定して出力する装置
 -- YOKOGAWA 7651（MeRL実験室 3台）
 --- IEEE488制御対応
 -- KIKUSUI PMC18-3（MeRL実験室 2台）
 -- KIKUSUI PMC18-2A（MeRL実験室 3台）
 -- KIKUSUI PMM 18-2.5DU（MeRL実験室）
 -- KIKUSUI KDS6-0.2TR（MeRL実験室）
 --- IEEE488制御対応, 低雑音（RF測定対応）
 -- TAKASAGO LX018-2A（MeRL実験室 2台）
 -- ADCMT 6146（MeRL実験室）
 --- IEEE488制御対応, 低雑音（RF測定対応）
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 - 温度計
 --- 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計。気温測定であれば内蔵温度センサも利用可能
 -- YOKOGAWA 7563（MeRL実験室）
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 - ファンクションジェネレータ
 --- 各種低周波波形を出力する装置
 -- HP 33120（MeRL実験室）
 -- YOKOGAWA AG1200（MeRL実験室）
 -- LG FG-7005C（MeRL実験室）
 -- METEX MXG-9819A（MeRL実験室）
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 - パワーアンプ
 --- 10MHz程度までのパワーアンプ
 -- YOKOGAWA 7058
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 - NFメータ
 --- 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力しか測定できない
 -- Agilent N8973A（MeRL実験室）
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 - 高速AD変換ボード
 --- 10MS/s*4chのAD変換器（MeRL実験室のPCに内蔵）
 -- Measurement Computing PCI-DAS4020/12（MeRL実験室）
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 - GPIB(IEEE488)インタフェース
 --- HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続するケーブル
 -- NI GPIB-USB-HS（MeRL実験室 2台）
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