評価設備リスト のバックアップ(No.2)
- LSIテスタ
- IMS ATS-100(VLSI評価室)
- ADVANTEST T2000(東京大学VDEC)
- 収束イオンビーム装置 (FIB)
- Fei 200xP(VLSI評価室)故障中
- Schlumberger IDS-P2X(東京大学VDEC)
- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
- 説明書(200xP)
- 説明書(IDS-P2S):作成中
- 信号発生器
- ネットワークアナライザ
- オシロスコープ
- LCRメータ
- 周波数カウンタ
- 高抵抗メータ
- ナノボルトメータ
- マルチメータ
- 直流電源
- 温度メータ
- ファンクションジェネレータ