評価設備リスト のバックアップ(No.2)


評価設備リスト

  • LSIテスタ
    • IMS ATS-100(VLSI評価室)
    • ADVANTEST T2000(東京大学VDEC)
  • 収束イオンビーム装置 (FIB)
    • Fei 200xP(VLSI評価室)故障中
    • Schlumberger IDS-P2X(東京大学VDEC)
      • チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
      • 説明書(200xP)
      • 説明書(IDS-P2S):作成中
  • 電子ビームプローバ (EB Prober)
    • ADVANTEST E1380A
      • チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形を調べる装置
      • 説明書(200xP)
  • 半導体パラメータアナライザ
    • HP 4156A
  • セミオートプローバ
    • 東京精密
      • ベアチップと計測器を直流接続する
  • RFプローバ
    • カスケードマイクロテック
      • ベアチップと計測器を高周波接続する
  • 信号発生器
  • ネットワークアナライザ
  • オシロスコープ
  • LCRメータ
  • 周波数カウンタ
  • 高抵抗メータ
  • ナノボルトメータ
  • マルチメータ
  • 直流電源
  • 温度メータ
  • ファンクションジェネレータ