* 評価設備リスト [#z87a972b] - LSIテスタ -- IMS ATS-100(VLSI評価室) -- ADVANTEST T2000(東京大学VDEC) --- ロジックLSIの機能、動作速度、消費電力などをテストする --- [[説明書(ATS-100):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ims/]] --- [[説明書(T2000):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/t2000/]] - 収束イオンビーム装置 (FIB) -- Fei 200xP(VLSI評価室)故障中 -- Schlumberger IDS-P2X(東京大学VDEC) --- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能 --- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/fib/FIB.pdf]] --- 説明書(IDS-P2S):作成中 - 電子ビームプローバ (EB Prober) -- ADVANTEST E1380A --- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形を調べる装置 --- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ebtest/]] - 半導体パラメータアナライザ -- HP 4156A - セミオートプローバ -- 東京精密 --- ベアチップと計測器を直流接続する - RFプローバ --カスケードマイクロテック --- ベアチップと計測器を高周波接続する - 信号発生器 - ネットワークアナライザ - オシロスコープ - LCRメータ - 周波数カウンタ - 高抵抗メータ - ナノボルトメータ - マルチメータ - 直流電源 - 温度メータ - ファンクションジェネレータ