評価設備リスト のバックアップ(No.24)

評価設備リスト †

  • LSIテスタ
    • ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
    • IMS ATS-100（VLSI評価室）
    • ADVANTEST T2000（東京大学VDEC）
      • ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
      • 説明書(T2000)
  • モジュール式計測器
    • 各種の計測システムをモジュールの組み合わせにより構成する自動計測システム
    • NI PXIe-1082（MeRL測定室)
    • PXIe-8840（MeRL測定室)
    • PXIe-4138（MeRL測定室, 2台)
  • 収束イオンビーム装置 (FIB)
    • チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
  • 電子ビームプローバ (EB Prober)
    • チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキューを調べる装置
    • ADVANTEST E1380A（VLSI評価室）故障中
  • 半導体パラメータアナライザ
    • トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流が測定できる
  • セミオートプローバ
    • ベアチップと計測器を直流接続する装置
    • 東京精密 A-PM-50A（VLSI評価室）
  • RFプローバ
    • ベアチップと計測器を高周波接続する装置
    • Cascade Microtec RF-1（MeRL測定室）
  • ワイヤーボンダ
    • ベアチップをプリント基板に直接実装するときの配線装置
  • ディジタル顕微鏡
    • 3D画像、動画像、深度合成ができる高機能顕微鏡
    • KEYENCE VHX-700F (MeRL測定室)
  • チップ写真撮影顕微鏡
    • チップ写真撮影用の低倍率顕微鏡
  • ノマルスキー微分干渉顕微鏡
    • 表面の1nm程度の微小な凹凸を強調表示する顕微鏡
    • Nikon OPTIPHOT（MeRL測定室）
  • 分光光源
    • イメージセンサなどの受光素子の分光感度特性を10nm刻みで測定
    • 朝日分光 MAX-303 (MeRL測定室)
  • ソーラーシミュレータ
    • AM1.5G(温帯基準太陽光)の光を発生させる光源
    • 朝日分光 HAL-C100 (MeRL測定室)
  • プロトタイッピングツール
    • ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFPGAボード
    • 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-SX（MeRL測定室）
  • 高周波信号発生器
    • 各種通信規格に準拠した高周波変調信号を出力する装置。
    • Rohde&Schwaltz SMBV100A (MeRL測定室 2台)
      • 高精度オプション・ベースバンド信号・2台のRF位相制御機能付き。
    • Agilent E4438C（MeRL実験室）
  • ネットワークアナライザ
    • 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装置。
    • HP 4396A + 85046A（MeRL測定室）
    • Rohde&Schwaltz ZVL13（MeRL測定室）
      • 非線形性評価などが可能なスペアナオプションが付いています。
  • リアルタイムスペクトラムアナライザ
    • スペクトラムの高速時間変化を測定する装置。RFID復調オプションも着いています。
    • Tectronix RSA3000B（MeRL測定室）
      • 簡易説明書は、マニュアル集/装置にあります
  • インピーダンスアナライザ
    • 2端子素子のインピーダンスを測定し、等価回路を求める装置。
    • HIOKI IM-7580A（MeRL測定室）
  • LCRメータ
    • 1MHzまでのL,C,Rを測定する装置
    • HP 4284A（MeRL測定室）
  • ユニバーサルカウンタ
    • 5GHzまでの主成分信号の周波数を正確に測定する装置。2チャンネル同時測定対応
    • Agilent 53132A（MeRL測定室）
  • 超高抵抗メータ
    • 微小な電流と高い抵抗を測定する装置
    • ADVANTEST R8340（MeRL測定室）
  • ナノボルトメータ
    • 微小な電圧を測定する装置
    • HP 34420A（MeRL測定室）
  • エレクトロメータ
    • 微小な電流を測定する装置。電圧の発生/掃引機能も持つ
    • ADCMT 8252（MeRL測定室）
  • パワーメータ
    • 消費電力や電力効率を測定する装置（2台同期）。PCを接続して波形を調べることもできる
    • HIOKI 3335-01（MeRL測定室 2台）
  • ガウスメータ
    • 磁束密度を測定する装置
    • LakeShore? 421（MeRL測定室）
  • ミクストドメインオシロ
    • 時間領域、周波数領域、ディジタル領域を同時に測定する装置
    • 2.5GS/s（ロジアナ・オシロ）, 3GHz（スペクトラム）
    • Tektronix MDO4034-3 (MeRL測定室)
  • オシロスコープ
    • 電圧波形を表示する装置
    • HP 54540C（MeRL測定室）
      • 500MHz帯域
    • Tektronix TDS2024（MeRL測定室 2台）
      • 200MHz帯域
    • Tektronix TDS2024B（MeRL測定室 5台）
      • 200MHz帯域, USB対応
    • Tektronix TDS2014（MeRL測定室）
      • 100MHz帯域
  • マルチメータ
    • 電圧、電流、抵抗などの基本測定器
    • Tektronix DMM4040（MeRL測定室 2台）
      • 高精度電流測定対応
    • HP 34401A（MeRL測定室）
    • ADVANTEST R6581D（MeRL測定室）
    • YOKOGAWA 7552（MeRL測定室 4台）
    • YOKOGAWA 7562（MeRL測定室）
  • 直流電源
    • 直流電圧、直流電流を正確に設定して出力する装置
    • YOKOGAWA 7651（MeRL測定室 3台）
      • IEEE488制御対応
    • KIKUSUI PMC18-3（MeRL測定室 2台）
    • KIKUSUI PMC18-2A（MeRL測定室 3台）
    • KIKUSUI PMM 18-2.5DU（MeRL測定室）
    • KIKUSUI KDS6-0.2TR（MeRL測定室）
      • IEEE488制御対応, 超低雑音（RF測定対応）
    • TAKASAGO LX018-2A（MeRL測定室 2台）
    • ADCMT 6146（MeRL測定室）
      • IEEE488制御対応, 低雑音（RF測定対応 2台）
  • 温度計
    • 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計。気温測定であれば内蔵温度センサも利用可能
    • YOKOGAWA 7563（MeRL測定室）
  • ファンクションジェネレータ
    • 各種低周波波形を出力する装置
    • HP 33120（MeRL測定室）
    • LG FG-7005C（MeRL測定室）
    • METEX MXG-9819A（MeRL測定室）
  • 任意波形発生装置
    • 12bit 5MHz帯域の任意波形を出力
    • YOKOGAWA AG1200（MeRL測定室）
      • 16bit 100MHz帯域の任意波形とパラメータ設定波形を出力
    • NF WF-1968 (MeRL測定室)
  • パワーアンプ
    • 10MHz程度までのパワーアンプ
    • YOKOGAWA 7058 (MeRL測定室)
  • NFメータ
    • 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力専用
    • Agilent N8973A（MeRL測定室）
  • 高速AD変換ボード
    • 10MS/s*4chのAD変換器（MeRL測定室のPCに内蔵）
    • Measurement Computing PCI-DAS4020/12（MeRL測定室）
  • GPIB(IEEE488)インタフェース
    • HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続するケーブル
    • NI GPIB-USB-HS（MeRL測定室 2台）
  • 計測制御用ノートPC
    • LabView?がライセンスされているPCが2台あります