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* 評価設備リスト [#z87a972b]
 
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 - LSIテスタ
 --- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
 -- IMS ATS-100（VLSI評価室）
 --- [[説明書(ATS-100):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ims/]]
 -- ADVANTEST T2000（東京大学VDEC）
 --- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
 --- [[説明書(T2000):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/t2000/]]
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 - モジュール式計測器
 --- 各種の計測システムをモジュールの組み合わせにより構成する自動計測システム
 -- NI PXIe-1082（MeRL測定室)
 -- PXIe-8840（MeRL測定室)
 -- NI PXIe-1082（MeRL測定室, 2台) バックボーン
 -- PXIe-8840（MeRL測定室, 2台) コントローラ
 -- PXIe-4137 (MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
 -- PXIe-4138（MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
 -- PXIe-4135（MeRL測定室) 高精度低電流SMU
 -- PXIe-4135（MeRL測定室, 1台) 高精度低電流SMU
 -- PXIe-4080（MeRL測定室, 2台) 高速マルチメータ
 -- PXIe-6570（MeRL測定室) ロジックテスター
 -- PXIe-4082（MeRL測定室, 4台) 高速マルチメータ
 -- PXIe-5413（MeRL測定室, 1台) 2ch 任意波形発生
 -- PXIe-6570（MeRL測定室, 1台) ロジックテスター
 ---[[説明書(PXIe-6570):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/edu/vlsi/ni6570/]]
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 - 収束イオンビーム装置 (FIB)
 --- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
 -- Fei 200xP（VLSI評価室）
 --- [[利用予約ページ:http://materia2.w3.kanazawa-u.ac.jp/aparatus/apparatus_schedule.html]]
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/fib/FIB.pdf]]
 -- Schlumberger IDS-P2X（東京大学VDEC）
 --- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/fib/FIB.pdf]]
 --- 説明書(IDS-P2S):作成中
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 - 電子ビームプローバ (EB Prober)
 --- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキューを調べる装置
 -- ADVANTEST E1380A（VLSI評価室）故障中
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ebtest/]]
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 - 半導体パラメータアナライザ
 --- トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流が測定できる
 -- HP 4156A（VLSI評価室）
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/probe/probe1.html]]
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 - セミオートプローバ
 --- ベアチップと計測器を直流接続する装置
 -- 東京精密 A-PM-50A（VLSI評価室）
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/probe/probe1.html]]
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 - RFプローバ
 --- ベアチップと計測器を高周波接続する装置
 --Cascade Microtec RF-1（MeRL測定室）
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 - ワイヤーボンダ
 --- ベアチップをプリント基板に直接実装するときの配線装置
 -- WEST BOND 7476D（VLSI評価室）
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/wire/]]
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 - ディジタル顕微鏡
 --- 3D画像、動画像、深度合成ができる高機能顕微鏡
 -- KEYENCE VHX-700F (MeRL測定室)
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 - チップ写真撮影顕微鏡
 --- チップ写真撮影用の低倍率顕微鏡
 -- OLYMPUS SZX-12（VLSI評価室）
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/photo/]]
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 - ノマルスキー微分干渉顕微鏡
 --- 表面の1nm程度の微小な凹凸を強調表示する顕微鏡
 -- Nikon OPTIPHOT（MeRL測定室）
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 - 分光光源
 --- イメージセンサなどの受光素子の分光感度特性を10nm刻みで測定
 -- 朝日分光 MAX-303 (MeRL測定室)
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 - ソーラーシミュレータ
 --- AM1.5G(温帯基準太陽光)の光を発生させる光源
 -- 朝日分光 HAL-C100 (MeRL測定室)
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 - プロトタイッピングツール
 --- ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFPGAボード
 -- 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-SX（MeRL測定室）
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/pmd/]]
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 - 高周波信号発生器
 --- 各種通信規格に準拠した高周波変調信号を出力する装置。
 -- Rohde&Schwaltz SMBV100A (MeRL測定室 2台)
 ---高精度オプション・ベースバンド信号・2台のRF位相制御機能付き。
 -- Agilent E4438C（MeRL実験室）
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 - ネットワークアナライザ
 --- 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装置。
 -- HP 4396A + 85046A（MeRL測定室）
 -- Rohde&Schwaltz ZVL13（MeRL測定室）
 --- 非線形性評価などが可能なスペアナオプションが付いています。
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 - リアルタイムスペクトラムアナライザ
 --- スペクトラムの高速時間変化を測定する装置。RFID復調オプションも着いています。
 -- Tectronix RSA3000B（MeRL測定室）
 --- 簡易説明書は、マニュアル集/装置にあります
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 -インピーダンスアナライザ
 ---2端子素子のインピーダンスを測定し、等価回路を求める装置。
 --HIOKI IM-7580A（MeRL測定室）
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 - LCRメータ
 ---1MHzまでのL,C,Rを測定する装置
 -- HP 4284A（MeRL測定室）
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 - ユニバーサルカウンタ
 --- 5GHzまでの主成分信号の周波数を正確に測定する装置。2チャンネル同時測定対応
 -- Agilent 53132A（MeRL測定室）
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 - 超高抵抗メータ
 --- 微小な電流と高い抵抗を測定する装置
 -- ADVANTEST R8340（MeRL測定室）
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 - ナノボルトメータ
 --- 微小な電圧を測定する装置
 -- HP 34420A（MeRL測定室）
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 - エレクトロメータ
 --- 微小な電流を測定する装置。電圧の発生/掃引機能も持つ
 -- ADCMT 8252（MeRL測定室）
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 - パワーメータ
 --- 消費電力や電力効率を測定する装置（2台同期）。PCを接続して波形を調べることもできる
 -- HIOKI 3335-01（MeRL測定室 2台）
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 - ガウスメータ
 --- 磁束密度を測定する装置
 -- LakeShore 421（MeRL測定室）
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 - ミクストドメインオシロ
 --- 時間領域、周波数領域、ディジタル領域を同時に測定する装置
 --- 2.5GS/s（ロジアナ・オシロ）, 3GHz（スペクトラム）
 -- Tektronix MDO4034-3 (MeRL測定室)
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 - オシロスコープ
 --- 電圧波形を表示する装置
 -- HP 54540C（MeRL測定室）
 --- 500MHz帯域
 -- Tektronix TDS2024（MeRL測定室 2台）
 --- 200MHz帯域
 -- Tektronix TDS2024B（MeRL測定室 5台）
 --- 200MHz帯域, USB対応
 -- Tektronix TDS2014（MeRL測定室）
 --- 100MHz帯域
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 - マルチメータ
 --- 電圧、電流、抵抗などの基本測定器
 -- Tektronix DMM4040（MeRL測定室 2台）
 --- 高精度電流測定対応
 -- HP 34401A（MeRL測定室）
 -- ADVANTEST R6581D（MeRL測定室）
 -- YOKOGAWA 7552（MeRL測定室 4台）
 -- YOKOGAWA 7562（MeRL測定室）
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 - 直流電源
 --- 直流電圧、直流電流を正確に設定して出力する装置
 -- YOKOGAWA 7651（MeRL測定室 3台）
 --- IEEE488制御対応
 -- KIKUSUI PMC18-3（MeRL測定室 2台）
 -- KIKUSUI PMC18-2A（MeRL測定室 3台）
 -- KIKUSUI PMM 18-2.5DU（MeRL測定室）
 -- KIKUSUI KDS6-0.2TR（MeRL測定室）
 --- IEEE488制御対応, 超低雑音（RF測定対応）
 -- TAKASAGO LX018-2A（MeRL測定室 2台）
 -- ADCMT 6146（MeRL測定室）
 --- IEEE488制御対応, 低雑音（RF測定対応 2台）
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 - 温度計
 --- 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計。気温測定であれば内蔵温度センサも利用可能
 -- YOKOGAWA 7563（MeRL測定室）
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 - ファンクションジェネレータ
 --- 各種低周波波形を出力する装置
 -- HP 33120（MeRL測定室）
 -- LG FG-7005C（MeRL測定室）
 -- METEX MXG-9819A（MeRL測定室）
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 - 任意波形発生装置
 --- 12bit 5MHz帯域の任意波形を出力
 -- YOKOGAWA AG1200（MeRL測定室）
 --- 16bit 100MHz帯域の任意波形とパラメータ設定波形を出力
 -- NF WF-1968 (MeRL測定室)
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 - パワーアンプ
 --- 10MHz程度までのパワーアンプ
 -- YOKOGAWA 7058 (MeRL測定室)
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 - NFメータ
 --- 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力専用
 -- Agilent N8973A（MeRL測定室）
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 - 高速AD変換ボード
 --- 10MS/s*4chのAD変換器（MeRL測定室のPCに内蔵）
 -- Measurement Computing PCI-DAS4020/12（MeRL測定室）
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 - GPIB(IEEE488)インタフェース
 --- HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続するケーブル
 -- NI GPIB-USB-HS（MeRL測定室 2台）
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 - 計測制御用ノートPC
 --- LabViewがライセンスされているPCが2台あります
 -- LabView 2015
 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/lv/]]
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 - レーザーカッター
 --- プラ、木材などの切断加工、マーキング加工
 -- LASER WORKS VLS2.30-25
 --- [[解説ページ:http://ifdl.jp/micon-bu/index.php?%B2%C3%B9%A9%C1%F5%C3%D6%A5%DE%A5%CB%A5%E5%A5%A2%A5%EB%2FVLS]]
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