評価設備リスト のバックアップソース(No.25)

* 評価設備リスト [#z87a972b]

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- LSIテスタ
--- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
-- IMS ATS-100（VLSI評価室）
--- [[説明書(ATS-100):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ims/]]
-- ADVANTEST T2000（東京大学VDEC）
--- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
--- [[説明書(T2000):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/t2000/]]
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- モジュール式計測器
--- 各種の計測システムをモジュールの組み合わせにより構成する自動計測システム
-- NI PXIe-1082（MeRL測定室)
-- PXIe-8840（MeRL測定室)
-- PXIe-4138（MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
-- PXIe-4135（MeRL測定室) 高精度低電流SMU
-- PXIe-4080（MeRL測定室, 2台) 高速マルチメータ
-- PXIe-6570（MeRL測定室) ロジックテスター
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- 収束イオンビーム装置 (FIB)
--- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
-- Fei 200xP（VLSI評価室）
--- [[利用予約ページ:http://materia2.w3.kanazawa-u.ac.jp/aparatus/apparatus_schedule.html]]
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/fib/FIB.pdf]]
-- Schlumberger IDS-P2X（東京大学VDEC）
--- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/fib/FIB.pdf]]
--- 説明書(IDS-P2S):作成中
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- 電子ビームプローバ (EB Prober)
--- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキューを調べる装置
-- ADVANTEST E1380A（VLSI評価室）故障中
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ebtest/]]
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- 半導体パラメータアナライザ
--- トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流が測定できる
-- HP 4156A（VLSI評価室）
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/probe/probe1.html]]
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- セミオートプローバ
--- ベアチップと計測器を直流接続する装置
-- 東京精密 A-PM-50A（VLSI評価室）
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/probe/probe1.html]]
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- RFプローバ
--- ベアチップと計測器を高周波接続する装置
--Cascade Microtec RF-1（MeRL測定室）
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- ワイヤーボンダ
--- ベアチップをプリント基板に直接実装するときの配線装置
-- WEST BOND 7476D（VLSI評価室）
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/wire/]]
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- ディジタル顕微鏡
--- 3D画像、動画像、深度合成ができる高機能顕微鏡
-- KEYENCE VHX-700F (MeRL測定室)
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- チップ写真撮影顕微鏡
--- チップ写真撮影用の低倍率顕微鏡
-- OLYMPUS SZX-12（VLSI評価室）
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/photo/]]
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- ノマルスキー微分干渉顕微鏡
--- 表面の1nm程度の微小な凹凸を強調表示する顕微鏡
-- Nikon OPTIPHOT（MeRL測定室）
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- 分光光源
--- イメージセンサなどの受光素子の分光感度特性を10nm刻みで測定
-- 朝日分光 MAX-303 (MeRL測定室)
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- ソーラーシミュレータ
--- AM1.5G(温帯基準太陽光)の光を発生させる光源
-- 朝日分光 HAL-C100 (MeRL測定室)
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- プロトタイッピングツール
--- ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFPGAボード
-- 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-SX（MeRL測定室）
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/pmd/]]
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- 高周波信号発生器
--- 各種通信規格に準拠した高周波変調信号を出力する装置。
-- Rohde&Schwaltz SMBV100A (MeRL測定室 2台)
---高精度オプション・ベースバンド信号・2台のRF位相制御機能付き。
-- Agilent E4438C（MeRL実験室）
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- ネットワークアナライザ
--- 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装置。
-- HP 4396A + 85046A（MeRL測定室）
-- Rohde&Schwaltz ZVL13（MeRL測定室）
--- 非線形性評価などが可能なスペアナオプションが付いています。
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- リアルタイムスペクトラムアナライザ
--- スペクトラムの高速時間変化を測定する装置。RFID復調オプションも着いています。
-- Tectronix RSA3000B（MeRL測定室）
--- 簡易説明書は、マニュアル集/装置にあります
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-インピーダンスアナライザ
---2端子素子のインピーダンスを測定し、等価回路を求める装置。
--HIOKI IM-7580A（MeRL測定室）
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- LCRメータ
---1MHzまでのL,C,Rを測定する装置
-- HP 4284A（MeRL測定室）
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- ユニバーサルカウンタ
--- 5GHzまでの主成分信号の周波数を正確に測定する装置。2チャンネル同時測定対応
-- Agilent 53132A（MeRL測定室）
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- 超高抵抗メータ
--- 微小な電流と高い抵抗を測定する装置
-- ADVANTEST R8340（MeRL測定室）
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- ナノボルトメータ
--- 微小な電圧を測定する装置
-- HP 34420A（MeRL測定室）
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- エレクトロメータ
--- 微小な電流を測定する装置。電圧の発生/掃引機能も持つ
-- ADCMT 8252（MeRL測定室）
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- パワーメータ
--- 消費電力や電力効率を測定する装置（2台同期）。PCを接続して波形を調べることもできる
-- HIOKI 3335-01（MeRL測定室 2台）
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- ガウスメータ
--- 磁束密度を測定する装置
-- LakeShore 421（MeRL測定室）
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- ミクストドメインオシロ
--- 時間領域、周波数領域、ディジタル領域を同時に測定する装置
--- 2.5GS/s（ロジアナ・オシロ）, 3GHz（スペクトラム）
-- Tektronix MDO4034-3 (MeRL測定室)
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- オシロスコープ
--- 電圧波形を表示する装置
-- HP 54540C（MeRL測定室）
--- 500MHz帯域
-- Tektronix TDS2024（MeRL測定室 2台）
--- 200MHz帯域
-- Tektronix TDS2024B（MeRL測定室 5台）
--- 200MHz帯域, USB対応
-- Tektronix TDS2014（MeRL測定室）
--- 100MHz帯域
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- マルチメータ
--- 電圧、電流、抵抗などの基本測定器
-- Tektronix DMM4040（MeRL測定室 2台）
--- 高精度電流測定対応
-- HP 34401A（MeRL測定室）
-- ADVANTEST R6581D（MeRL測定室）
-- YOKOGAWA 7552（MeRL測定室 4台）
-- YOKOGAWA 7562（MeRL測定室）
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- 直流電源
--- 直流電圧、直流電流を正確に設定して出力する装置
-- YOKOGAWA 7651（MeRL測定室 3台）
--- IEEE488制御対応
-- KIKUSUI PMC18-3（MeRL測定室 2台）
-- KIKUSUI PMC18-2A（MeRL測定室 3台）
-- KIKUSUI PMM 18-2.5DU（MeRL測定室）
-- KIKUSUI KDS6-0.2TR（MeRL測定室）
--- IEEE488制御対応, 超低雑音（RF測定対応）
-- TAKASAGO LX018-2A（MeRL測定室 2台）
-- ADCMT 6146（MeRL測定室）
--- IEEE488制御対応, 低雑音（RF測定対応 2台）
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- 温度計
--- 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計。気温測定であれば内蔵温度センサも利用可能
-- YOKOGAWA 7563（MeRL測定室）
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- ファンクションジェネレータ
--- 各種低周波波形を出力する装置
-- HP 33120（MeRL測定室）
-- LG FG-7005C（MeRL測定室）
-- METEX MXG-9819A（MeRL測定室）
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- 任意波形発生装置
--- 12bit 5MHz帯域の任意波形を出力
-- YOKOGAWA AG1200（MeRL測定室）
--- 16bit 100MHz帯域の任意波形とパラメータ設定波形を出力
-- NF WF-1968 (MeRL測定室)
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- パワーアンプ
--- 10MHz程度までのパワーアンプ
-- YOKOGAWA 7058 (MeRL測定室)
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- NFメータ
--- 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力専用
-- Agilent N8973A（MeRL測定室）
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- 高速AD変換ボード
--- 10MS/s*4chのAD変換器（MeRL測定室のPCに内蔵）
-- Measurement Computing PCI-DAS4020/12（MeRL測定室）
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- GPIB(IEEE488)インタフェース
--- HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続するケーブル
-- NI GPIB-USB-HS（MeRL測定室 2台）
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- 計測制御用ノートPC
--- LabViewがライセンスされているPCが2台あります
-- LabView 2015
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/lv/]]
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