評価設備リスト のバックアップ(No.4)

評価設備リスト †

  • LSIテスタ
    • IMS ATS-100（VLSI評価室）
    • ADVANTEST T2000（東京大学VDEC）
  • 収束イオンビーム装置 (FIB)
    • Fei 200xP（VLSI評価室）故障中
    • Schlumberger IDS-P2X（東京大学VDEC）
      • チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能。
      • 説明書(200xP)
      • 説明書(IDS-P2S):作成中
  • 電子ビームプローバ (EB Prober)
    • ADVANTEST E1380A（VLSI評価室）故障中
      • チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキューを調べる装置
      • 説明書
  • 半導体パラメータアナライザ
    • HP 4156A（VLSI評価室）
      • トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流が測定できる。
      • 説明書
  • セミオートプローバ
    • 東京精密 A-PM-50A（VLSI評価室）
      • ベアチップと計測器を直流接続する装置
      • 説明書
  • RFプローバ
    • Cascade Microtec RF-1（MeRL実験室）
      • ベアチップと計測器を高周波接続する装置
  • チップ写真撮影顕微鏡
    • OLYMPUS BX-60M（VLSI評価室）
      • チップ写真撮影用の低倍率顕微鏡
      • 説明書
  • ノマルスキー微分干渉顕微鏡
    • Nikon OPTIPHOT（MeRL実験室）
      • 表面の1nm程度の微小な凹凸を強調表示する顕微鏡
  • プロトタイッピングツール
    • 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-SX（MeRL実験室）
      • ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFPGAボード
      • 説明書
  • 信号発生器
    • Agilent E4438C（MeRL実験室）
      • 各種高周波変調信号を出力する装置。高精度オプション付き
  • ネットワークアナライザ
    • HP 4396A + 85046A（MeRL実験室）
      • 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装置
  • LCRメータ
    • HP 4284A（MeRL実験室）
      • 1MHzまでのL,C,Rを測定する装置
  • 周波数カウンタ
    • Agilent 53132A（MeRL実験室）
    • 周波数の平均値を正確に測定する装置。2チャンネル同時測定対応。
  • 超高抵抗メータ
    • ADVANTEST R8340（MeRL実験室）
      • 微小な電流と高い抵抗を測定する装置
  • ナノボルトメータ
    • HP 34420A（MeRL実験室）
      • 微小な電圧を測定する装置
  • ガウスメータ
    • LakeShore? 421（MeRL実験室）
      • 磁束密度を測定する装置
  • オシロスコープ
    • HP 54540C（MeRL実験室）
    • Tektronix TDS2024（MeRL実験室 2台）
    • Tektronix TDS2014（MeRL実験室）
      • 電圧波形を表示する装置
  • マルチメータ
    • HP 34401A（MeRL実験室）
    • ADVANTEST R6581D（MeRL実験室）
    • YOKOGAWA 7552（MeRL実験室 4台）
    • YOKOGAWA 7562（MeRL実験室）
      • 電圧、電流、抵抗などの基本測定器
  • 直流電源
    • YOKOGAWA 7651（MeRL実験室 3台）
    • KIKUSUI PMC18-3（MeRL実験室 2台）
    • KIKUSUI PMC18-2A（MeRL実験室 3台）
    • PMM 18-2.5DU（MeRL実験室）
    • TAKASAGO LX018-2A（MeRL実験室 2台）
      • 直流電圧、直流電流を正確に設定して出力する装置
  • 温度計
    • YOKOGAWA 7563（MeRL実験室）
      • 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計
  • ファンクションジェネレータ
    • HP 33120（MeRL実験室）
    • YOKOGAWA AG1200（MeRL実験室）
    • LG FG-7005C（MeRL実験室）
    • METEX MXG-9819A（MeRL実験室）
      • 各種低周波波形を出力する装置
  • パワーアンプ
    • YOKOGAWA 7058
      • 10MHz程度までのパワーアンプ
  • NFメータ
    • Agilent N8973A（MeRL実験室）
      • 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力しか測定できない。
  • 高速AD変換ボード
    • Measurement Computing PCI-DAS4020/12（MeRL実験室）
      • 10MS/s*4chのAD変換器（MeRL実験室のPCに内蔵）
  • GPIB(IEEE488)インタフェース
    • NI GPIB-USB-HS
      • HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続する