Proxi-Vision センサ のバックアップソース(No.4)

[[研究プロジェクト]]

Proxi-Visionは、センサチップ上に乗った微小物体の形状を画像データとして出力するセンサLSIです。原理は、未公開特許なので、ネット上では伏せておきます。発案当初は簡易的な顕微鏡や高精度な指紋センサとして開発していたのですが、微粒子や微細ごみの検出、金属表面や薄膜材料の凹凸、マイクロマシンの位置制御などに応用可能だと思われます。単体センサの性能はすでに確認済みですが、原理的に高精度位置測定や画像化に向いた方式ですので、大規模集積化したセンサの開発とPCに接続した全体システムの開発を進めて行く予定です。