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評価設備リスト †
- LSIテスタ
- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
- IMS ATS-100（VLSI評価室）
- ADVANTEST T2000（東京大学VDEC）
- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
- 説明書(T2000)
- モジュール式計測器
- 各種の計測システムをモジュールの組み合わせにより構成する自動計測システム
- NI PXIe-1082（MeRL測定室, 2台) バックボーン
- PXIe-8840（MeRL測定室, 2台) コントローラ
- PXIe-4137 (MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
- PXIe-4138（MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
- PXIe-4135（MeRL測定室, 1台) 高精度低電流SMU
- PXIe-4080（MeRL測定室, 2台) 高速マルチメータ
- PXIe-4082（MeRL測定室, 4台) 高速マルチメータ
- PXIe-5413（MeRL測定室, 1台) 2ch 任意波形発生
- PXIe-6570（MeRL測定室, 1台) ロジックテスター
- 収束イオンビーム装置 (FIB)
- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
- Fei 200xP（VLSI評価室）
- Schlumberger IDS-P2X（東京大学VDEC）
- 説明書(200xP)
- 説明書(IDS-P2S):作成中
- 電子ビームプローバ (EB Prober)
- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキューを調べる装置
- ADVANTEST E1380A（VLSI評価室）故障中
- 半導体パラメータアナライザ
- トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流が測定できる
- HP 4156A（VLSI評価室）
- セミオートプローバ
- ベアチップと計測器を直流接続する装置
- 東京精密 A-PM-50A（VLSI評価室）
- RFプローバ
- ベアチップと計測器を高周波接続する装置
- Cascade Microtec RF-1（MeRL測定室）
- ワイヤーボンダ
- ベアチップをプリント基板に直接実装するときの配線装置
- WEST BOND 7476D（VLSI評価室）
- ディジタル顕微鏡
- 3D画像、動画像、深度合成ができる高機能顕微鏡
- KEYENCE VHX-700F (MeRL測定室)
- チップ写真撮影顕微鏡
- チップ写真撮影用の低倍率顕微鏡
- OLYMPUS SZX-12（VLSI評価室）
- ノマルスキー微分干渉顕微鏡
- 表面の1nm程度の微小な凹凸を強調表示する顕微鏡
- Nikon OPTIPHOT（MeRL測定室）
- 分光光源
- イメージセンサなどの受光素子の分光感度特性を10nm刻みで測定
- 朝日分光 MAX-303 (MeRL測定室)
- ソーラーシミュレータ
- AM1.5G(温帯基準太陽光)の光を発生させる光源
- 朝日分光 HAL-C100 (MeRL測定室)
- プロトタイッピングツール
- ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFPGAボード
- 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-SX（MeRL測定室）
- 高周波信号発生器
- 各種通信規格に準拠した高周波変調信号を出力する装置。
- Rohde&Schwaltz SMBV100A (MeRL測定室 2台)
- 高精度オプション・ベースバンド信号・2台のRF位相制御機能付き。
- Agilent E4438C（MeRL実験室）
- ネットワークアナライザ
- 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装置。
- HP 4396A + 85046A（MeRL測定室）
- Rohde&Schwaltz ZVL13（MeRL測定室）
- 非線形性評価などが可能なスペアナオプションが付いています。
- リアルタイムスペクトラムアナライザ
- スペクトラムの高速時間変化を測定する装置。RFID復調オプションも着いています。
- Tectronix RSA3000B（MeRL測定室）
- 簡易説明書は、マニュアル集/装置にあります
- インピーダンスアナライザ
- 2端子素子のインピーダンスを測定し、等価回路を求める装置。
- HIOKI IM-7580A（MeRL測定室）
- LCRメータ
- 1MHzまでのL,C,Rを測定する装置
- HP 4284A（MeRL測定室）
- ユニバーサルカウンタ
- 5GHzまでの主成分信号の周波数を正確に測定する装置。2チャンネル同時測定対応
- Agilent 53132A（MeRL測定室）
- 超高抵抗メータ
- 微小な電流と高い抵抗を測定する装置
- ADVANTEST R8340（MeRL測定室）
- ナノボルトメータ
- 微小な電圧を測定する装置
- HP 34420A（MeRL測定室）
- エレクトロメータ
- 微小な電流を測定する装置。電圧の発生/掃引機能も持つ
- ADCMT 8252（MeRL測定室）
- パワーメータ
- 消費電力や電力効率を測定する装置（2台同期）。PCを接続して波形を調べることもできる
- HIOKI 3335-01（MeRL測定室 2台）
- ガウスメータ
- 磁束密度を測定する装置
- LakeShore? 421（MeRL測定室）
- ミクストドメインオシロ
- 時間領域、周波数領域、ディジタル領域を同時に測定する装置
- 2.5GS/s（ロジアナ・オシロ）, 3GHz（スペクトラム）
- Tektronix MDO4034-3 (MeRL測定室)
- オシロスコープ
- 電圧波形を表示する装置
- HP 54540C（MeRL測定室）
- 500MHz帯域
- Tektronix TDS2024（MeRL測定室 2台）
- 200MHz帯域
- Tektronix TDS2024B（MeRL測定室 5台）
- 200MHz帯域, USB対応
- Tektronix TDS2014（MeRL測定室）
- 100MHz帯域
- マルチメータ
- 電圧、電流、抵抗などの基本測定器
- Tektronix DMM4040（MeRL測定室 2台）
- 高精度電流測定対応
- HP 34401A（MeRL測定室）
- ADVANTEST R6581D（MeRL測定室）
- YOKOGAWA 7552（MeRL測定室 4台）
- YOKOGAWA 7562（MeRL測定室）
- 直流電源
- 直流電圧、直流電流を正確に設定して出力する装置
- YOKOGAWA 7651（MeRL測定室 3台）
- IEEE488制御対応
- KIKUSUI PMC18-3（MeRL測定室 2台）
- KIKUSUI PMC18-2A（MeRL測定室 3台）
- KIKUSUI PMM 18-2.5DU（MeRL測定室）
- KIKUSUI KDS6-0.2TR（MeRL測定室）
- IEEE488制御対応, 超低雑音（RF測定対応）
- TAKASAGO LX018-2A（MeRL測定室 2台）
- ADCMT 6146（MeRL測定室）
- IEEE488制御対応, 低雑音（RF測定対応 2台）
- 温度計
- 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計。気温測定であれば内蔵温度センサも利用可能
- YOKOGAWA 7563（MeRL測定室）
- ファンクションジェネレータ
- 各種低周波波形を出力する装置
- HP 33120（MeRL測定室）
- LG FG-7005C（MeRL測定室）
- METEX MXG-9819A（MeRL測定室）
- 任意波形発生装置
- 12bit 5MHz帯域の任意波形を出力
- YOKOGAWA AG1200（MeRL測定室）
- 16bit 100MHz帯域の任意波形とパラメータ設定波形を出力
- NF WF-1968 (MeRL測定室)
- パワーアンプ
- 10MHz程度までのパワーアンプ
- YOKOGAWA 7058 (MeRL測定室)
- NFメータ
- 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力専用
- Agilent N8973A（MeRL測定室）
- 高速AD変換ボード
- 10MS/s*4chのAD変換器（MeRL測定室のPCに内蔵）
- Measurement Computing PCI-DAS4020/12（MeRL測定室）
- GPIB(IEEE488)インタフェース
- HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続するケーブル
- NI GPIB-USB-HS（MeRL測定室 2台）
- レーザーカッター
- プラ、木材などの切断加工、マーキング加工
- LASER WORKS VLS2.30-25
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