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研究紹介パンフレット
2023-07-20
新聞報道等
2023-06-28
所在地/アクセス
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評価設備リスト をテンプレートにして作成
開始行:
* 評価設備リスト [#z87a972b]
----
- LSIテスタ
--- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などを...
-- IMS ATS-100(VLSI評価室)
--- [[説明書(ATS-100):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/k...
-- ADVANTEST T2000(東京大学VDEC)
--- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などを...
--- [[説明書(T2000):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kit...
----
- モジュール式計測器
--- 各種の計測システムをモジュールの組み合わせにより構成...
-- NI PXIe-1082(MeRL測定室, 2台) バックボーン
-- PXIe-8840(MeRL測定室, 2台) コントローラ
-- PXIe-4137 (MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
-- PXIe-4138(MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
-- PXIe-4135(MeRL測定室, 1台) 高精度低電流SMU
-- PXIe-4080(MeRL測定室, 2台) 高速マルチメータ
-- PXIe-4082(MeRL測定室, 4台) 高速マルチメータ
-- PXIe-5413(MeRL測定室, 1台) 2ch 任意波形発生
-- PXIe-6570(MeRL測定室, 1台) ロジックテスター
---[[説明書(PXIe-6570):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/...
----
- 収束イオンビーム装置 (FIB)
--- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
-- Fei 200xP(VLSI評価室)
--- [[利用予約ページ:http://materia2.w3.kanazawa-u.ac.jp/...
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
-- Schlumberger IDS-P2X(東京大学VDEC)
--- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kit...
--- 説明書(IDS-P2S):作成中
----
- 電子ビームプローバ (EB Prober)
--- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキュ...
-- ADVANTEST E1380A(VLSI評価室)故障中
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
----
- 半導体パラメータアナライザ
--- トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流...
-- HP 4156A(VLSI評価室)
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
----
- セミオートプローバ
--- ベアチップと計測器を直流接続する装置
-- 東京精密 A-PM-50A(VLSI評価室)
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
----
- RFプローバ
--- ベアチップと計測器を高周波接続する装置
--Cascade Microtec RF-1(MeRL測定室)
----
- ワイヤーボンダ
--- ベアチップをプリント基板に直接実装するときの配線装置
-- WEST BOND 7476D(VLSI評価室)
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
----
- ディジタル顕微鏡
--- 3D画像、動画像、深度合成ができる高機能顕微鏡
-- KEYENCE VHX-700F (MeRL測定室)
----
- チップ写真撮影顕微鏡
--- チップ写真撮影用の低倍率顕微鏡
-- OLYMPUS SZX-12(VLSI評価室)
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
----
- ノマルスキー微分干渉顕微鏡
--- 表面の1nm程度の微小な凹凸を強調表示する顕微鏡
-- Nikon OPTIPHOT(MeRL測定室)
----
- 分光光源
--- イメージセンサなどの受光素子の分光感度特性を10nm刻み...
-- 朝日分光 MAX-303 (MeRL測定室)
----
- ソーラーシミュレータ
--- AM1.5G(温帯基準太陽光)の光を発生させる光源
-- 朝日分光 HAL-C100 (MeRL測定室)
----
- プロトタイッピングツール
--- ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFP...
-- 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-S...
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
----
- 高周波信号発生器
--- 各種通信規格に準拠した高周波変調信号を出力する装置。
-- Rohde&Schwaltz SMBV100A (MeRL測定室 2台)
---高精度オプション・ベースバンド信号・2台のRF位相制御機...
-- Agilent E4438C(MeRL実験室)
----
- ネットワークアナライザ
--- 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装...
-- HP 4396A + 85046A(MeRL測定室)
-- Rohde&Schwaltz ZVL13(MeRL測定室)
--- 非線形性評価などが可能なスペアナオプションが付いてい...
----
- リアルタイムスペクトラムアナライザ
--- スペクトラムの高速時間変化を測定する装置。RFID復調オ...
-- Tectronix RSA3000B(MeRL測定室)
--- 簡易説明書は、マニュアル集/装置にあります
----
-インピーダンスアナライザ
---2端子素子のインピーダンスを測定し、等価回路を求める装...
--HIOKI IM-7580A(MeRL測定室)
----
- LCRメータ
---1MHzまでのL,C,Rを測定する装置
-- HP 4284A(MeRL測定室)
----
- ユニバーサルカウンタ
--- 5GHzまでの主成分信号の周波数を正確に測定する装置。2チ...
-- Agilent 53132A(MeRL測定室)
----
- 超高抵抗メータ
--- 微小な電流と高い抵抗を測定する装置
-- ADVANTEST R8340(MeRL測定室)
----
- ナノボルトメータ
--- 微小な電圧を測定する装置
-- HP 34420A(MeRL測定室)
----
- エレクトロメータ
--- 微小な電流を測定する装置。電圧の発生/掃引機能も持つ
-- ADCMT 8252(MeRL測定室)
----
- パワーメータ
--- 消費電力や電力効率を測定する装置(2台同期)。PCを接続...
-- HIOKI 3335-01(MeRL測定室 2台)
----
- ガウスメータ
--- 磁束密度を測定する装置
-- LakeShore 421(MeRL測定室)
----
- ミクストドメインオシロ
--- 時間領域、周波数領域、ディジタル領域を同時に測定する...
--- 2.5GS/s(ロジアナ・オシロ), 3GHz(スペクトラム)
-- Tektronix MDO4034-3 (MeRL測定室)
----
- オシロスコープ
--- 電圧波形を表示する装置
-- HP 54540C(MeRL測定室)
--- 500MHz帯域
-- Tektronix TDS2024(MeRL測定室 2台)
--- 200MHz帯域
-- Tektronix TDS2024B(MeRL測定室 5台)
--- 200MHz帯域, USB対応
-- Tektronix TDS2014(MeRL測定室)
--- 100MHz帯域
----
- マルチメータ
--- 電圧、電流、抵抗などの基本測定器
-- Tektronix DMM4040(MeRL測定室 2台)
--- 高精度電流測定対応
-- HP 34401A(MeRL測定室)
-- ADVANTEST R6581D(MeRL測定室)
-- YOKOGAWA 7552(MeRL測定室 4台)
-- YOKOGAWA 7562(MeRL測定室)
----
- 直流電源
--- 直流電圧、直流電流を正確に設定して出力する装置
-- YOKOGAWA 7651(MeRL測定室 3台)
--- IEEE488制御対応
-- KIKUSUI PMC18-3(MeRL測定室 2台)
-- KIKUSUI PMC18-2A(MeRL測定室 3台)
-- KIKUSUI PMM 18-2.5DU(MeRL測定室)
-- KIKUSUI KDS6-0.2TR(MeRL測定室)
--- IEEE488制御対応, 超低雑音(RF測定対応)
-- TAKASAGO LX018-2A(MeRL測定室 2台)
-- ADCMT 6146(MeRL測定室)
--- IEEE488制御対応, 低雑音(RF測定対応 2台)
----
- 温度計
--- 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計。気温測定であれ...
-- YOKOGAWA 7563(MeRL測定室)
----
- ファンクションジェネレータ
--- 各種低周波波形を出力する装置
-- HP 33120(MeRL測定室)
-- LG FG-7005C(MeRL測定室)
-- METEX MXG-9819A(MeRL測定室)
----
- 任意波形発生装置
--- 12bit 5MHz帯域の任意波形を出力
-- YOKOGAWA AG1200(MeRL測定室)
--- 16bit 100MHz帯域の任意波形とパラメータ設定波形を出力
-- NF WF-1968 (MeRL測定室)
----
- パワーアンプ
--- 10MHz程度までのパワーアンプ
-- YOKOGAWA 7058 (MeRL測定室)
----
- NFメータ
--- 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力専用
-- Agilent N8973A(MeRL測定室)
----
- 高速AD変換ボード
--- 10MS/s*4chのAD変換器(MeRL測定室のPCに内蔵)
-- Measurement Computing PCI-DAS4020/12(MeRL測定室)
----
- GPIB(IEEE488)インタフェース
--- HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続するケーブル
-- NI GPIB-USB-HS(MeRL測定室 2台)
----
- 計測制御用ノートPC
--- LabViewがライセンスされているPCが2台あります
-- LabView 2015
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
----
- レーザーカッター
--- プラ、木材などの切断加工、マーキング加工
-- LASER WORKS VLS2.30-25
--- [[解説ページ:http://ifdl.jp/micon-bu/index.php?%B2%C3...
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終了行:
* 評価設備リスト [#z87a972b]
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- LSIテスタ
--- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などを...
-- IMS ATS-100(VLSI評価室)
--- [[説明書(ATS-100):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/k...
-- ADVANTEST T2000(東京大学VDEC)
--- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などを...
--- [[説明書(T2000):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kit...
----
- モジュール式計測器
--- 各種の計測システムをモジュールの組み合わせにより構成...
-- NI PXIe-1082(MeRL測定室, 2台) バックボーン
-- PXIe-8840(MeRL測定室, 2台) コントローラ
-- PXIe-4137 (MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
-- PXIe-4138(MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
-- PXIe-4135(MeRL測定室, 1台) 高精度低電流SMU
-- PXIe-4080(MeRL測定室, 2台) 高速マルチメータ
-- PXIe-4082(MeRL測定室, 4台) 高速マルチメータ
-- PXIe-5413(MeRL測定室, 1台) 2ch 任意波形発生
-- PXIe-6570(MeRL測定室, 1台) ロジックテスター
---[[説明書(PXIe-6570):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/...
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- 収束イオンビーム装置 (FIB)
--- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
-- Fei 200xP(VLSI評価室)
--- [[利用予約ページ:http://materia2.w3.kanazawa-u.ac.jp/...
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
-- Schlumberger IDS-P2X(東京大学VDEC)
--- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kit...
--- 説明書(IDS-P2S):作成中
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- 電子ビームプローバ (EB Prober)
--- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキュ...
-- ADVANTEST E1380A(VLSI評価室)故障中
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
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- 半導体パラメータアナライザ
--- トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流...
-- HP 4156A(VLSI評価室)
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
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- セミオートプローバ
--- ベアチップと計測器を直流接続する装置
-- 東京精密 A-PM-50A(VLSI評価室)
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
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- RFプローバ
--- ベアチップと計測器を高周波接続する装置
--Cascade Microtec RF-1(MeRL測定室)
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- ワイヤーボンダ
--- ベアチップをプリント基板に直接実装するときの配線装置
-- WEST BOND 7476D(VLSI評価室)
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
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- ディジタル顕微鏡
--- 3D画像、動画像、深度合成ができる高機能顕微鏡
-- KEYENCE VHX-700F (MeRL測定室)
----
- チップ写真撮影顕微鏡
--- チップ写真撮影用の低倍率顕微鏡
-- OLYMPUS SZX-12(VLSI評価室)
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
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- ノマルスキー微分干渉顕微鏡
--- 表面の1nm程度の微小な凹凸を強調表示する顕微鏡
-- Nikon OPTIPHOT(MeRL測定室)
----
- 分光光源
--- イメージセンサなどの受光素子の分光感度特性を10nm刻み...
-- 朝日分光 MAX-303 (MeRL測定室)
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- ソーラーシミュレータ
--- AM1.5G(温帯基準太陽光)の光を発生させる光源
-- 朝日分光 HAL-C100 (MeRL測定室)
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- プロトタイッピングツール
--- ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFP...
-- 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-S...
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
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- 高周波信号発生器
--- 各種通信規格に準拠した高周波変調信号を出力する装置。
-- Rohde&Schwaltz SMBV100A (MeRL測定室 2台)
---高精度オプション・ベースバンド信号・2台のRF位相制御機...
-- Agilent E4438C(MeRL実験室)
----
- ネットワークアナライザ
--- 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装...
-- HP 4396A + 85046A(MeRL測定室)
-- Rohde&Schwaltz ZVL13(MeRL測定室)
--- 非線形性評価などが可能なスペアナオプションが付いてい...
----
- リアルタイムスペクトラムアナライザ
--- スペクトラムの高速時間変化を測定する装置。RFID復調オ...
-- Tectronix RSA3000B(MeRL測定室)
--- 簡易説明書は、マニュアル集/装置にあります
----
-インピーダンスアナライザ
---2端子素子のインピーダンスを測定し、等価回路を求める装...
--HIOKI IM-7580A(MeRL測定室)
----
- LCRメータ
---1MHzまでのL,C,Rを測定する装置
-- HP 4284A(MeRL測定室)
----
- ユニバーサルカウンタ
--- 5GHzまでの主成分信号の周波数を正確に測定する装置。2チ...
-- Agilent 53132A(MeRL測定室)
----
- 超高抵抗メータ
--- 微小な電流と高い抵抗を測定する装置
-- ADVANTEST R8340(MeRL測定室)
----
- ナノボルトメータ
--- 微小な電圧を測定する装置
-- HP 34420A(MeRL測定室)
----
- エレクトロメータ
--- 微小な電流を測定する装置。電圧の発生/掃引機能も持つ
-- ADCMT 8252(MeRL測定室)
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- パワーメータ
--- 消費電力や電力効率を測定する装置(2台同期)。PCを接続...
-- HIOKI 3335-01(MeRL測定室 2台)
----
- ガウスメータ
--- 磁束密度を測定する装置
-- LakeShore 421(MeRL測定室)
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- ミクストドメインオシロ
--- 時間領域、周波数領域、ディジタル領域を同時に測定する...
--- 2.5GS/s(ロジアナ・オシロ), 3GHz(スペクトラム)
-- Tektronix MDO4034-3 (MeRL測定室)
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- オシロスコープ
--- 電圧波形を表示する装置
-- HP 54540C(MeRL測定室)
--- 500MHz帯域
-- Tektronix TDS2024(MeRL測定室 2台)
--- 200MHz帯域
-- Tektronix TDS2024B(MeRL測定室 5台)
--- 200MHz帯域, USB対応
-- Tektronix TDS2014(MeRL測定室)
--- 100MHz帯域
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- マルチメータ
--- 電圧、電流、抵抗などの基本測定器
-- Tektronix DMM4040(MeRL測定室 2台)
--- 高精度電流測定対応
-- HP 34401A(MeRL測定室)
-- ADVANTEST R6581D(MeRL測定室)
-- YOKOGAWA 7552(MeRL測定室 4台)
-- YOKOGAWA 7562(MeRL測定室)
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- 直流電源
--- 直流電圧、直流電流を正確に設定して出力する装置
-- YOKOGAWA 7651(MeRL測定室 3台)
--- IEEE488制御対応
-- KIKUSUI PMC18-3(MeRL測定室 2台)
-- KIKUSUI PMC18-2A(MeRL測定室 3台)
-- KIKUSUI PMM 18-2.5DU(MeRL測定室)
-- KIKUSUI KDS6-0.2TR(MeRL測定室)
--- IEEE488制御対応, 超低雑音(RF測定対応)
-- TAKASAGO LX018-2A(MeRL測定室 2台)
-- ADCMT 6146(MeRL測定室)
--- IEEE488制御対応, 低雑音(RF測定対応 2台)
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- 温度計
--- 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計。気温測定であれ...
-- YOKOGAWA 7563(MeRL測定室)
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- ファンクションジェネレータ
--- 各種低周波波形を出力する装置
-- HP 33120(MeRL測定室)
-- LG FG-7005C(MeRL測定室)
-- METEX MXG-9819A(MeRL測定室)
----
- 任意波形発生装置
--- 12bit 5MHz帯域の任意波形を出力
-- YOKOGAWA AG1200(MeRL測定室)
--- 16bit 100MHz帯域の任意波形とパラメータ設定波形を出力
-- NF WF-1968 (MeRL測定室)
----
- パワーアンプ
--- 10MHz程度までのパワーアンプ
-- YOKOGAWA 7058 (MeRL測定室)
----
- NFメータ
--- 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力専用
-- Agilent N8973A(MeRL測定室)
----
- 高速AD変換ボード
--- 10MS/s*4chのAD変換器(MeRL測定室のPCに内蔵)
-- Measurement Computing PCI-DAS4020/12(MeRL測定室)
----
- GPIB(IEEE488)インタフェース
--- HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続するケーブル
-- NI GPIB-USB-HS(MeRL測定室 2台)
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- 計測制御用ノートPC
--- LabViewがライセンスされているPCが2台あります
-- LabView 2015
--- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/e...
----
- レーザーカッター
--- プラ、木材などの切断加工、マーキング加工
-- LASER WORKS VLS2.30-25
--- [[解説ページ:http://ifdl.jp/micon-bu/index.php?%B2%C3...
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