評価設備リスト のバックアップ(No.27)
- LSIテスタ
- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置
- IMS ATS-100(VLSI評価室)
- ADVANTEST T2000(東京大学VDEC)
- モジュール式計測器
- 各種の計測システムをモジュールの組み合わせにより構成する自動計測システム
- NI PXIe-1082(MeRL測定室, 2台) バックボーン
- PXIe-8840(MeRL測定室, 2台) コントローラ
- PXIe-4137 (MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
- PXIe-4138(MeRL測定室, 2台) 汎用SMU
- PXIe-4135(MeRL測定室, 1台) 高精度低電流SMU
- PXIe-4080(MeRL測定室, 2台) 高速マルチメータ
- PXIe-4082(MeRL測定室, 4台) 高速マルチメータ
- PXIe-5413(MeRL測定室, 1台) 2ch 任意波形発生
- PXIe-6570(MeRL測定室, 1台) ロジックテスター
- 収束イオンビーム装置 (FIB)
- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
- Fei 200xP(VLSI評価室)
- Schlumberger IDS-P2X(東京大学VDEC)
- 電子ビームプローバ (EB Prober)
- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキューを調べる装置
- ADVANTEST E1380A(VLSI評価室)故障中
- 半導体パラメータアナライザ
- トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流が測定できる
- RFプローバ
- Cascade Microtec RF-1(MeRL測定室)
- ワイヤーボンダ
- ベアチップをプリント基板に直接実装するときの配線装置
- ディジタル顕微鏡
- KEYENCE VHX-700F (MeRL測定室)
- 分光光源
- イメージセンサなどの受光素子の分光感度特性を10nm刻みで測定
- ソーラーシミュレータ
- AM1.5G(温帯基準太陽光)の光を発生させる光源
- プロトタイッピングツール
- ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFPGAボード
- 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-SX(MeRL測定室)
- 高周波信号発生器
- 各種通信規格に準拠した高周波変調信号を出力する装置。
- Rohde&Schwaltz SMBV100A (MeRL測定室 2台)
- 高精度オプション・ベースバンド信号・2台のRF位相制御機能付き。
- Agilent E4438C(MeRL実験室)
- ネットワークアナライザ
- 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装置。
- HP 4396A + 85046A(MeRL測定室)
- Rohde&Schwaltz ZVL13(MeRL測定室)
- 非線形性評価などが可能なスペアナオプションが付いています。
- リアルタイムスペクトラムアナライザ
- スペクトラムの高速時間変化を測定する装置。RFID復調オプションも着いています。
- Tectronix RSA3000B(MeRL測定室)
- インピーダンスアナライザ
- 2端子素子のインピーダンスを測定し、等価回路を求める装置。
- ユニバーサルカウンタ
- 5GHzまでの主成分信号の周波数を正確に測定する装置。2チャンネル同時測定対応
- エレクトロメータ
- 微小な電流を測定する装置。電圧の発生/掃引機能も持つ
- パワーメータ
- 消費電力や電力効率を測定する装置(2台同期)。PCを接続して波形を調べることもできる
- HIOKI 3335-01(MeRL測定室 2台)
- ミクストドメインオシロ
- 時間領域、周波数領域、ディジタル領域を同時に測定する装置
- 2.5GS/s(ロジアナ・オシロ), 3GHz(スペクトラム)
- Tektronix MDO4034-3 (MeRL測定室)
- オシロスコープ
- HP 54540C(MeRL測定室)
- Tektronix TDS2024(MeRL測定室 2台)
- Tektronix TDS2024B(MeRL測定室 5台)
- Tektronix TDS2014(MeRL測定室)
- マルチメータ
- Tektronix DMM4040(MeRL測定室 2台)
- HP 34401A(MeRL測定室)
- ADVANTEST R6581D(MeRL測定室)
- YOKOGAWA 7552(MeRL測定室 4台)
- YOKOGAWA 7562(MeRL測定室)
- 直流電源
- YOKOGAWA 7651(MeRL測定室 3台)
- KIKUSUI PMC18-3(MeRL測定室 2台)
- KIKUSUI PMC18-2A(MeRL測定室 3台)
- KIKUSUI PMM 18-2.5DU(MeRL測定室)
- KIKUSUI KDS6-0.2TR(MeRL測定室)
- IEEE488制御対応, 超低雑音(RF測定対応)
- TAKASAGO LX018-2A(MeRL測定室 2台)
- ADCMT 6146(MeRL測定室)
- IEEE488制御対応, 低雑音(RF測定対応 2台)
- 温度計
- 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計。気温測定であれば内蔵温度センサも利用可能
- ファンクションジェネレータ
- HP 33120(MeRL測定室)
- LG FG-7005C(MeRL測定室)
- METEX MXG-9819A(MeRL測定室)
- 任意波形発生装置
- YOKOGAWA AG1200(MeRL測定室)
- 16bit 100MHz帯域の任意波形とパラメータ設定波形を出力
- NF WF-1968 (MeRL測定室)
- NFメータ
- 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力専用
- 高速AD変換ボード
- 10MS/s*4chのAD変換器(MeRL測定室のPCに内蔵)
- Measurement Computing PCI-DAS4020/12(MeRL測定室)
- GPIB(IEEE488)インタフェース
- HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続するケーブル
- NI GPIB-USB-HS(MeRL測定室 2台)
- 計測制御用ノートPC
- LabView?がライセンスされているPCが2台あります