* 評価設備リスト [#z87a972b] ---- - LSIテスタ --- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置 -- IMS ATS-100(VLSI評価室) --- [[説明書(ATS-100):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ims/]] -- ADVANTEST T2000(東京大学VDEC) --- ロジックLSIのファンクション、動作速度、消費電力などをテストする装置 --- [[説明書(T2000):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/t2000/]] ---- - 収束イオンビーム装置 (FIB) --- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能 -- Fei 200xP(VLSI評価室)故障中 -- Schlumberger IDS-P2X(東京大学VDEC) --- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/fib/FIB.pdf]] --- 説明書(IDS-P2S):作成中 ---- - 電子ビームプローバ (EB Prober) --- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形やスキューを調べる装置 -- ADVANTEST E1380A(VLSI評価室)故障中 --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ebtest/]] ---- - 半導体パラメータアナライザ --- トランジスタの I-V特性などを調べる装置。極微小な電流が測定できる -- HP 4156A(VLSI評価室) --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/probe/probe1.html]] ---- - セミオートプローバ --- ベアチップと計測器を直流接続する装置 -- 東京精密 A-PM-50A(VLSI評価室) --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/probe/probe1.html]] ---- - RFプローバ --- ベアチップと計測器を高周波接続する装置 --Cascade Microtec RF-1(MeRL実験室) ---- - ワイヤーボンダ --- ベアチップをプリント基板に直接実装するときの配線装置 -- WEST BOND 7476D(VLSI評価室) ---- - チップ写真撮影顕微鏡 --- チップ写真撮影用の低倍率顕微鏡 -- OLYMPUS SZX-12(VLSI評価室) --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/photo/]] ---- - ノマルスキー微分干渉顕微鏡 --- 表面の1nm程度の微小な凹凸を強調表示する顕微鏡 -- Nikon OPTIPHOT(MeRL実験室) ---- - プロトタイッピングツール --- ロジックLSIのファンクションテストをPCから行うためのFPGAボード -- 三菱電機マイコン機器ソフトウエア Power Medusa MU-200-SX(MeRL実験室) --- [[説明書:http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/pmd/]] ---- - 高周波信号発生器 --- 各種通信規格に準拠した高周波変調信号を出力する装置。高精度オプション・ベースバンド信号・RF位相制御機能付き -- Rohde&Schwaltz SMBV100A (MeRL実験室 2台) -- Agilent E4438C(MeRL実験室) ---- - ネットワークアナライザ --- 高周波のインピーダンスや利得の周波数特性を測定する装置 -- HP 4396A + 85046A(MeRL実験室) ---- - リアルタイムスペクトラムアナライザ --- スペクトラムの高速時間変化を測定する装置 -- Tectronix RSA3000B --- 簡易説明書は、マニュアル集/装置にあります ---- - LCRメータ ---1MHzまでのL,C,Rを測定する装置 -- HP 4284A(MeRL実験室) ---- - ユニバーサルカウンタ --- 12.4GHzまでの主成分信号の周波数を正確に測定する装置。2チャンネル同時測定対応 -- Agilent 53132A(MeRL実験室) ---- - 超高抵抗メータ --- 微小な電流と高い抵抗を測定する装置 -- ADVANTEST R8340(MeRL実験室) ---- - ナノボルトメータ --- 微小な電圧を測定する装置 -- HP 34420A(MeRL実験室) ---- - ガウスメータ -- LakeShore 421(MeRL実験室) --- 磁束密度を測定する装置 ---- - オシロスコープ --- 電圧波形を表示する装置 -- HP 54540C(MeRL実験室) --- 500MHz帯域 -- Tektronix TDS2024(MeRL実験室 2台) --- 200MHz帯域 -- Tektronix TDS2024B(MeRL実験室 5台) --- 200MHz帯域, USB対応 -- Tektronix TDS2014(MeRL実験室) --- 100MHz帯域 ---- - マルチメータ --- 電圧、電流、抵抗などの基本測定器 -- Tektronix DMM4040(MeRL実験室 2台) --- 高精度電流測定対応 -- HP 34401A(MeRL実験室) -- ADVANTEST R6581D(MeRL実験室) -- YOKOGAWA 7552(MeRL実験室 4台) -- YOKOGAWA 7562(MeRL実験室) ---- - 直流電源 --- 直流電圧、直流電流を正確に設定して出力する装置 -- YOKOGAWA 7651(MeRL実験室 3台) --- IEEE488制御対応 -- KIKUSUI PMC18-3(MeRL実験室 2台) -- KIKUSUI PMC18-2A(MeRL実験室 3台) -- KIKUSUI PMM 18-2.5DU(MeRL実験室) -- KIKUSUI KDS6-0.2TR(MeRL実験室) --- IEEE488制御対応, 低雑音(RF測定対応) -- TAKASAGO LX018-2A(MeRL実験室 2台) -- ADCMT 6146(MeRL実験室) --- IEEE488制御対応, 低雑音(RF測定対応) ---- - 温度計 --- 熱電対や白金抵抗体による電子式温度計。気温測定であれば内蔵温度センサも利用可能 -- YOKOGAWA 7563(MeRL実験室) ---- - ファンクションジェネレータ --- 各種低周波波形を出力する装置 -- HP 33120(MeRL実験室) -- YOKOGAWA AG1200(MeRL実験室) -- LG FG-7005C(MeRL実験室) -- METEX MXG-9819A(MeRL実験室) ---- - パワーアンプ --- 10MHz程度までのパワーアンプ -- YOKOGAWA 7058 ---- - NFメータ --- 雑音指数を測定する装置。雑音源付き。50ohm入出力しか測定できない -- Agilent N8973A(MeRL実験室) ---- - 高速AD変換ボード --- 10MS/s*4chのAD変換器(MeRL実験室のPCに内蔵) -- Measurement Computing PCI-DAS4020/12(MeRL実験室) ---- - GPIB(IEEE488)インタフェース --- HS488.2規格の計測器とPCをUSB接続するケーブル -- NI GPIB-USB-HS(MeRL実験室 2台) ----