評価設備リスト のバックアップソース(No.2)

* 評価設備リスト [#z87a972b]

- LSIテスタ
-- IMS ATS-100（VLSI評価室）
-- ADVANTEST T2000（東京大学VDEC）
--- ロジックLSIの機能、動作速度、消費電力などをテストする
--- [[説明書(ATS-100):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ims/]]
--- [[説明書(T2000):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/t2000/]]

- 収束イオンビーム装置 (FIB)
-- Fei 200xP（VLSI評価室）故障中
-- Schlumberger IDS-P2X（東京大学VDEC）
--- チップの配線を修正する装置。配線層の断面観察も可能
--- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/fib/FIB.pdf]]
--- 説明書(IDS-P2S):作成中

- 電子ビームプローバ (EB Prober)
-- ADVANTEST E1380A
--- チップ内の配線を無負荷でプローブして信号波形を調べる装置
--- [[説明書(200xP):http://jaco.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/kitagawa/edu/vlsi/ebtest/]]

- 半導体パラメータアナライザ
-- HP 4156A

- セミオートプローバ
-- 東京精密
--- ベアチップと計測器を直流接続する

- RFプローバ
--カスケードマイクロテック 
--- ベアチップと計測器を高周波接続する

- 信号発生器
- ネットワークアナライザ
- オシロスコープ
- LCRメータ
- 周波数カウンタ
- 高抵抗メータ
- ナノボルトメータ
- マルチメータ
- 直流電源
- 温度メータ
- ファンクションジェネレータ